氣密·測漏·測試·檢測方法（直壓·差壓·流量測試原理）
一、差壓氣密測試工作原理
測試過程通常包含充氣、隔離、保壓、測試和排氣五個階段。產(chǎn)品在檢測過程中被施加的氣壓力，檢測壓力經(jīng)有壓力調(diào)節(jié)閥設定好并同時預先在測試程序中預設好，包括TR（標準參考腔體）和TP（被測工件）。
差壓變化過程
1. 被測件[TP]連接到測試端口時，測試程序就會啟動進行檢測，在充氣階段，儀器內(nèi)部電磁閥[V1]、[V2]和[V3]打開后，經(jīng)過調(diào)壓閥[R]的氣體壓力充入被測件。
充氣過程
2. 在充氣階段結(jié)束后,電磁閥[V2] [V3]關(guān)閉使充入的氣體隔離于被測件內(nèi)部。
隔離過程
3. 電磁閥[V2] [V3]關(guān)閉使瞬間,電磁閥[V1]關(guān)閉，使[V1]至[V2]、 [V3]之間氣管內(nèi)的氣體排出到平衡大氣壓的狀態(tài)。一旦電磁閥[V2]有泄漏情況測試儀能監(jiān)控到壓力衰減速度，并顯示測試NG的結(jié)果，這個額外的電磁閥使得檢測儀具有自我診斷的功能。
保壓過程
4. 在保壓階段，被測件內(nèi)部的氣體循環(huán)并趨于穩(wěn)定；壓力傳感器[S1]檢測參考腔[TR]的內(nèi)部壓力，然后在測試階段被儀器的壓力傳感器[S2]監(jiān)測。如果被測件的內(nèi)部氣體的泄漏量超出了預設的泄漏允許范圍( 測試時間內(nèi)的壓力降或量化的泄漏率), 儀器會顯示失敗的原因并且以預先定義好的輸出單位給出壓力衰減或泄漏率。泄漏量=S1-S2
測試過程
4. 在測試階段結(jié)束排氣階段開始后，電磁閥[V2] [V3]打開，被測件和標準腔內(nèi)部的氣體通過電磁閥[V1]排出直到平衡到大氣壓狀態(tài)。儀器開始準備下一次測試。
排氣過程
二、直壓氣密測試工作原理
壓力檢測包括直壓衰減檢測和真空檢測（負壓測試）。檢漏設備可以智能的在內(nèi)部預設為直壓檢測或者真空檢測，并且可以自動地輸出讀數(shù)和圖表給于正確的結(jié)果，本片文章主要探討在氣密壓力檢測常用的一種檢測方法-直壓衰減檢測。
直壓原理圖
測試過程通常包含充氣、穩(wěn)壓、測量和排氣四個階段。產(chǎn)品在檢測過程中被施加的氣壓力，檢測壓力經(jīng)有壓力調(diào)節(jié)閥設定好并同時預先在測試程序中預設好。
直壓衰減過程
1. 被測件[TP]連接到測試端口時，測試程序就會啟動進行檢測，在充氣階段，儀器內(nèi)部電磁閥[V1] 和 [V2]打開后，經(jīng)過調(diào)壓閥[R]的氣體壓力充入被測件。
充氣過程
2. 在充氣階段結(jié)束后, 電磁閥[V2]關(guān)閉使充入的氣體隔離于被測件內(nèi)部。在此瞬間之后,電磁閥[V1]關(guān)閉，使[V1]至[V2]之間氣管內(nèi)的氣體排出到平衡大氣壓的狀態(tài)。一旦電磁閥[V2] 有泄漏情況測試儀能監(jiān)控到壓力衰減速度，并顯示測試不合格的結(jié)果，這個額外的電磁閥使得檢測儀具有自我診斷的功能。
穩(wěn)壓過程
3. 在穩(wěn)定階段，被測件內(nèi)部的氣體循環(huán)并趨于穩(wěn)定；然后在測試階段被儀器的壓力傳感器[S]監(jiān)測。如果被測件的內(nèi)部氣體的泄漏量超出了預設的泄漏允許范圍( 測試時間內(nèi)的壓力降或量化的泄漏率)，儀器會顯示失敗的原因并且以預先定義好的輸出單位給出壓力衰減或泄漏率。
測試過程
雖然在測試的充氣階段就連續(xù)不斷測量實時壓力的大小, 但是僅僅讀取測試階段起始點和測試階段結(jié)束點的兩個壓力值用來計算壓力降。測漏儀采用實測的壓力損失和要求的最大允許泄露量（已知的最大不合格點）的對比來判斷被測產(chǎn)品是合格件還是不合格件。不合格限制點可以在參數(shù)菜單中設置，通常都設置為非常小的壓力值，具體數(shù)值需要根據(jù)對各種不同特征樣品進行大量實驗測試才能檢驗得出。這個不合格壓力值僅是測試階段開始點和結(jié)束點的壓差值，并不是測試壓力在全量程范圍的變化量。
泄漏上限, 泄漏下限(不合格范圍)這項設置是為壓力在測試階段的實際壓力值給出一個可以被接受的范圍，這些值通?？梢栽跍y漏設備的參數(shù)進行設置，用來衡量實際測試壓力(P1)和指定測試壓力之間的差異程度。
4. 在測試階段結(jié)束排氣階段開始后，電磁閥[V2]打開，被測件內(nèi)部的氣體通過電磁閥[V1]排出直到平衡到大氣壓狀態(tài)。儀器開始準備下一次測試。
排氣過程
三、流量式氣密測試工作原理
流量測試原理圖
流量測試會持續(xù)不斷的向工件內(nèi)部充氣并且測量通過被測件流向大氣的氣體流量。在流量測試中, 系統(tǒng)至少會具備一個流量傳感器去測量氣體流量，并且具備一個壓力傳感器監(jiān)測氣體壓力。
流量變化過程
1. 在充氣、穩(wěn)壓和測量階段，電池閥[V1]打開，氣源會持續(xù)不斷的向工件內(nèi)部充氣并且測量通過被測件流向大氣的氣體流量。在流量測試中, 系統(tǒng)至少會具備一個流量傳感器[F]去測量氣體流量，并且具備一個壓力傳感器[P1]監(jiān)測氣體壓力。
充氣過程
2. 在結(jié)束階段，電池閥[V1]關(guān)閉，測試通道和工件內(nèi)部內(nèi)氣體流向大氣，完成排氣。
隔離過程
流量測試可以配置為檢測流過工件的流量是否滿足處于程序設置好的最大最小值之間。流量測試常常被用來檢查微小管道或低流量設備內(nèi)部是否被堵塞。
采用流量法的泄露測試
流量測試也可以用作泄漏測試。如果使用流量法做工件內(nèi)部的泄漏檢測，需要先設定一個最小泄漏率到零，最大的流量值設置為您能接受的最大泄露率。最小的泄露率取決于您的產(chǎn)品特性和具體的要求。
采用流量法進行泄露檢測有時候在某些場合是一種非常合適的選擇，比如您的產(chǎn)品其容腔小但是可接受的泄露率相對非常高，這樣流量泄漏檢測法將會比壓力法快很多。這是因為流量法對于小產(chǎn)品來說不需要穩(wěn)定時間，在流量法檢測中，典型的泄露值公差對于剛性小容腔產(chǎn)品來說粗略為0.5sccm，對于大容腔或靈活性的產(chǎn)品可以定為1sccm甚至更大。
但是，如果泄露率要求比較?。ㄏ鄬τ谏厦娴那闆r），直壓檢測法或者壓差檢測法仍然是泄漏測試的最佳選擇。