氣密性檢測(cè)儀工作原理
一、氣密性測(cè)試原理
1、理想的氣體方程式
在固定時(shí)間內(nèi)通過(guò)對(duì)被加壓的密閉容器的壓力變化來(lái)測(cè)量產(chǎn)品的泄漏量，目前常用壓降法判斷、水浸檢測(cè)和定點(diǎn)檢測(cè)三種方式。
壓降法判斷：在完全密封所有接觸面的情況下，對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行充氣，通過(guò)氣密性檢測(cè)儀觀察壓力變化情況判斷泄漏量的大小，進(jìn)而推斷出該設(shè)備的泄漏量，但不能就泄漏點(diǎn)進(jìn)行明確定位。
浸水檢測(cè)（氣泡法檢測(cè)）：往設(shè)備內(nèi)充氣一定干凈氣體，當(dāng)壓力達(dá)到設(shè)定值后，將其浸沒(méi)于水中，通過(guò)觀測(cè)氣泡的情況，來(lái)判斷泄漏的位置和大小，適用往內(nèi)部充氣可以浸入水中的產(chǎn)品檢測(cè)，可較精確的確定泄漏點(diǎn)的位置。
差壓檢測(cè)法：是將壓縮空氣（正壓）精確的同時(shí)輸入到被測(cè)產(chǎn)品和標(biāo)準(zhǔn)品中，切斷充氣回路,利用氣密性檢測(cè)儀通過(guò)計(jì)算比較和分析，得出被測(cè)物和標(biāo)準(zhǔn)品之中的壓力差ΔＰ，以此來(lái)判定產(chǎn)品是否合格。
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1、差壓式檢漏儀
做一個(gè)相對(duì)密封的空腔，把要做泄漏測(cè)試的產(chǎn)品放進(jìn)去，然后經(jīng)過(guò)氣密性檢測(cè)儀器將控制壓力精確的壓縮空氣輸入到空腔內(nèi)，然后自動(dòng)斷開充氣氣源，電磁閥準(zhǔn)確控制規(guī)定時(shí)間的氣流平衡，再關(guān)斷起平衡作用的電磁閥(在平衡閥一端接有被試件，另一端接不泄漏的標(biāo)準(zhǔn)件)，氣密性檢測(cè)通過(guò)被試件與標(biāo)準(zhǔn)件同一氣路相連接的精密微差壓傳感器，在規(guī)定時(shí)間內(nèi)測(cè)量出標(biāo)準(zhǔn)件與被試件的差壓值，再通過(guò)溫度補(bǔ)償而得到被試件的實(shí)際泄漏產(chǎn)生的壓力降，從而判斷試件是否泄漏。這就是氣密性檢測(cè)儀的差壓測(cè)試法。
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2、直壓式檢測(cè)儀
氣密性測(cè)試儀把要測(cè)試泄漏值的裝置放入相對(duì)密封的型腔里，然后打開氣源，經(jīng)過(guò)氣密性檢測(cè)對(duì)型腔沖入一定壓力值的氣體。后并掉氣源，穩(wěn)壓一定的時(shí)間，然后氣密性檢測(cè)系統(tǒng)開始測(cè)試型腔內(nèi)的氣壓變化情況，得到壓力差，后經(jīng)過(guò)計(jì)算就可以得到泄漏值，就可以根據(jù)泄漏值判定裝置的密封性了。
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3、流量式檢測(cè)儀
持續(xù)向被測(cè)的物體加一定的壓力，也就是氣密性檢測(cè)對(duì)型腔沖入一定壓力值的氣體，穩(wěn)壓一定的時(shí)間，如果有泄漏，氣體會(huì)通過(guò)流量計(jì)向被測(cè)物體補(bǔ)充氣體壓力，然后通過(guò)計(jì)算流量值從而判斷產(chǎn)品時(shí)候泄漏。
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三、檢漏儀工作原理
檢漏儀主要的目的是檢查一個(gè)真空腔體各個(gè)密封處是否有泄漏、漏氣的地方。在這個(gè)密封腔體內(nèi)充滿氦氣，氫氮?dú)饣蛘咛厥鈿怏w，用檢漏儀在不腔體外，不同部位檢測(cè)，如果密封存在問(wèn)題，則有氣泄漏，被檢漏儀檢測(cè)到。
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四、氣密性測(cè)試檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)
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氣密性測(cè)試泄漏量標(biāo)準(zhǔn)，氣密性測(cè)試泄漏量標(biāo)準(zhǔn)是什么？氣密性測(cè)試時(shí)，泄露率的標(biāo)準(zhǔn)是多少？出自什么標(biāo)準(zhǔn)？現(xiàn)行的氣密標(biāo)準(zhǔn)似乎以肥皂水檢查不發(fā)泡為合格。具體的參考表：
以上是各測(cè)漏測(cè)試的具體標(biāo)準(zhǔn)參考，氣密性測(cè)試泄漏量標(biāo)準(zhǔn)，一般以壓力衰減測(cè)試的10-4mbar/s為參考標(biāo)準(zhǔn)。不同的產(chǎn)品，由于體積等因素不同，會(huì)有差異，具體以實(shí)驗(yàn)后數(shù)據(jù)為準(zhǔn)。
五、氣密性測(cè)試檢測(cè)儀如何標(biāo)準(zhǔn)校準(zhǔn)？
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①準(zhǔn)備好一個(gè)完全不泄漏（或者泄漏值最?。┑暮细衿?，連接后， 進(jìn)入測(cè)試界面
②選擇相應(yīng)的程序測(cè)試后進(jìn)行10 次測(cè)試，每次間隔至少在30 秒鐘，記錄下10 次的壓降，取其平均值；
③將平均值補(bǔ)償?shù)匠绦騾?shù)offset（數(shù)據(jù)偏移） 中；
④接上標(biāo)準(zhǔn)泄漏件后進(jìn)行10次測(cè)試，每次間隔至少在30秒鐘，記錄下10次的壓降，取其平均值；
參考泄漏量的換算公式：
單位時(shí)間內(nèi)的泄漏量與差壓之間的關(guān)系可以用下面公式計(jì)算
Q： 泄漏量[ml/min]
△P：壓差(pa)
Ve： 等效容積[ml]
T： 檢測(cè)時(shí)間[s]
檢漏儀使用標(biāo)準(zhǔn)大氣壓來(lái)進(jìn)行這項(xiàng)計(jì)算。如果測(cè)試時(shí)的大氣壓是標(biāo)準(zhǔn)大氣壓，即1.013X105、氣溫是標(biāo)準(zhǔn)的20"C,即可以算出標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的單位時(shí)間內(nèi)的泄漏量。
⑤將已知數(shù)值：Q： 泄漏量[ml/min]（標(biāo)準(zhǔn)泄漏件的泄漏量）、△P：壓差(pa)（接上標(biāo)準(zhǔn)泄漏件后10次測(cè)試的平均值）和T： 檢測(cè)時(shí)間[s]代入以上公式，可以計(jì)算出Ve： 等效容積[ml]
⑥將計(jì)算得到的Ve值填入程序中的體積值，測(cè)試方式選擇“流量”。連接按“測(cè)量” 進(jìn)入測(cè)試界面，啟動(dòng)測(cè)試，
測(cè)試結(jié)果如果比“標(biāo)準(zhǔn)泄漏件(1sccm)”的數(shù)值小，則將“體積值”調(diào)大 ↑。
測(cè)試結(jié)果如果比“標(biāo)準(zhǔn)泄漏件(1sccm)”的數(shù)值大，則將“體積值”調(diào)小 ↓
校準(zhǔn)步驟：
①把標(biāo)準(zhǔn)漏孔裝進(jìn)儀器閥板內(nèi)部，然后到程序設(shè)置，漏孔參數(shù)頁(yè)面把漏孔參數(shù)輸入進(jìn)去。
②準(zhǔn)備一個(gè)零泄漏的標(biāo)準(zhǔn)樣機(jī)，鏈接到儀器，然后按儀器的校準(zhǔn)按鈕，儀器會(huì)自動(dòng)進(jìn)行泄漏率校準(zhǔn)。過(guò)程無(wú)需干預(yù)。
③儀器校準(zhǔn)過(guò)程，會(huì)連續(xù)測(cè)兩次，第一次是測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)件的泄漏壓降，第一次是測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)件+打開漏孔的泄漏壓降。然后根據(jù)兩者的測(cè)試數(shù)據(jù)系統(tǒng)根據(jù)公式自動(dòng)生成壓降與泄漏率對(duì)應(yīng)的關(guān)系。
具體原理：
①由于溫度、環(huán)境的影響，總是會(huì)有一定的干擾，儀器校正的第一過(guò)程就是在檢測(cè)口接上標(biāo)準(zhǔn)件（我們認(rèn)為合格的工件），關(guān)閉漏孔，這時(shí)候儀器測(cè)出來(lái)的泄漏率主要是由非泄漏因素引起的泄漏量，儀器先把這個(gè)值記下來(lái)。
②儀器校正的第二個(gè)過(guò)程是接上標(biāo)準(zhǔn)件、打開漏孔檢測(cè)，這時(shí)候的泄漏率是漏孔引起的泄漏量加上非泄漏因素引起的泄漏量。系統(tǒng)也把這個(gè)值記下來(lái)，然后減去之前非泄漏因素引起的泄漏量，剩下的就是純漏孔泄漏。儀器就把下圖的曲線記錄在儀器里面。
③之后工件的每一次檢測(cè)值，都會(huì)跟用下圖曲線作比較，并計(jì)算出相應(yīng)的泄漏率。
